半导体制造工序

晶片处理

湿法清洗

用丙酮、三氯乙烯和超纯水等溶剂清洗

Piranha溶液

RCA清洗

表面钝化

光刻技术

离子植入(将掺杂物嵌入晶圆中,形成导电性增加或减少的区域)

蚀刻(微细加工)

干法蚀刻(等离子体蚀刻)

反应性离子蚀刻(RIE)
深度反应性离子蚀刻
原子层蚀刻(ALE)

湿法蚀刻

缓冲氧化物蚀刻


等离子灰化


热处理


快速热退火


熔炉退火


热氧化


化学气相沉积(CVD)


原子层沉积(ALD)


物理气相沉积(PVD)


分子束外延(MBE)


激光解除(用于LED生产[32])。


电化学沉积(ECD)。见电镀


化学-机械抛光(CMP)


晶片测试(使用自动测试设备对电气性能进行验证,在这一步骤中还可能进行分片和/或激光修剪)


模具准备


硅通孔制造(用于三维集成电路)


晶圆安装(使用切割胶带将晶圆安装在金属框架上)。


晶圆回磨和抛光[33](对于像智能卡或PCMCIA卡这样的薄型设备或晶圆键合和堆叠,减少晶圆的厚度,这也可能发生在晶圆切割过程中,称为先切割后研磨或DBG[34][35])。


晶片粘接和堆叠(对于三维集成电路和MEMS)。


再分配层的制造(对于WLCSP封装)。


晶圆凸起(对于倒装芯片BGA(球栅阵列)和WLCSP封装)。

芯片切割或晶圆切割

IC封装

芯片附着(使用导电膏或芯片附着膜将芯片附着在引线框架上[36][37])

IC粘接。电线键合、热声键合、倒装芯片或胶带自动键合(TAB)。

IC封装或集成散热器(IHS)安装

模塑(使用特殊的模塑化合物,可能含有玻璃粉作为填充物)


烘烤


电镀(在引线框架的铜

引线上镀上锡,使焊接更容易)。


激光打标或丝网印刷


修剪和成型(将引线框架相互分离,并弯曲引线框架的引脚,以便将其安装在印刷电路板上)。


IC测试


此外,还可以进行诸如赖特蚀刻等步骤。

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